臭氧在殺菌與去農藥的過程皆為「氧化反應」，此外，自來水中仍有我們看不到的礦物質或金屬離子，亦有可能產生其他氧化物，但這些氧化物都會隨著水份的瀝幹使其含量微乎其微。是否會對人體造成傷害？從目前臭氧應用在自來水洗淨中，並無相關文獻或報導指出臭氧水有害人體的情形。